中西nakanishi氣浮主軸ABT-1600，半導(dǎo)體制造精加工

中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600是一款高性能的氣動(dòng)主軸，以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹：

一、產(chǎn)品概述

中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600，又稱(chēng)為空氣軸承渦輪主軸，以其高速運(yùn)轉(zhuǎn)、高精度加工和免維護(hù)等特點(diǎn)，在制造業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。該主軸通過(guò)空氣壓力使主軸在懸浮無(wú)接觸狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)，減少了機(jī)械摩擦和振動(dòng)，進(jìn)一步提高了加工精度。

二、主要特點(diǎn)

高速運(yùn)轉(zhuǎn)：ABT-1600氣浮主軸的轉(zhuǎn)速高達(dá)160,000轉(zhuǎn)/分鐘，這使得它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量的加工任務(wù)，提高生產(chǎn)效率。

高精度加工：主軸跳動(dòng)精度在1μm以?xún)?nèi)，對(duì)于半導(dǎo)體晶圓這種對(duì)表面光潔度和尺寸精度要求極高的工件來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。高精度的主軸能夠確保在加工過(guò)程中工件表面的均勻性和一致性，減少表面缺陷和誤差。

免維護(hù)：由于空氣軸承渦輪主軸的潤(rùn)滑介質(zhì)是空氣，因此無(wú)需定期更換潤(rùn)滑油，減少了維護(hù)成本和維護(hù)周期。

噪音低：空氣軸承渦輪主軸的非接觸式軸承結(jié)構(gòu)可以避免機(jī)械軸承因摩擦產(chǎn)生的噪音，從而實(shí)現(xiàn)了噪音更低的加工環(huán)境。

負(fù)載能力強(qiáng)：空氣軸承渦輪主軸采用非接觸式軸承結(jié)構(gòu)，可以避免傳統(tǒng)機(jī)械軸承因負(fù)載過(guò)大導(dǎo)致的軸承磨損和失效，因此負(fù)載能力更強(qiáng)。

環(huán)保節(jié)能：空氣軸承渦輪主軸的潤(rùn)滑介質(zhì)為空氣，無(wú)需使用潤(rùn)滑油，從而減少了環(huán)境污染和能源消耗。

三、產(chǎn)品參數(shù)

類(lèi)型：氣動(dòng)主軸

最高轉(zhuǎn)速：160,000轉(zhuǎn)/分鐘

主軸跳動(dòng)精度：1μm以?xún)?nèi)

最大輸出：63W

夾頭：CHA組（φ0.5~4.0mm）

重量：570g（或0.07kg，不同來(lái)源數(shù)據(jù)有差異，但均表示該主軸重量較輕）

軸承氣壓：0.5MPa（空氣消耗量：35/min）

渦輪空氣壓力：0.5MPa（空氣消耗量：150/min）

軸承許用載荷能力：徑向10N或更小，推力20N或更小

四、應(yīng)用領(lǐng)域

ABT-1600氣浮主軸適用于對(duì)加工精度要求較高、加工速度要求較快、對(duì)表面質(zhì)量要求較高的工件加工。具體應(yīng)用領(lǐng)域包括但不限于：

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體晶圓研磨中展現(xiàn)出了卓越的性能，能夠確保晶圓表面的均勻性和一致性，減少表面缺陷和誤差。

精密機(jī)械加工：可用于高光、銑槽、銑削等多種加工任務(wù)，提高加工精度和生產(chǎn)效率。

模具制造：在模具的精密加工中，ABT-1600氣浮主軸能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能，確保模具的精度和壽命。

五、注意事項(xiàng)

刀具選擇：ABT-1600氣浮主軸適用于小直徑刀具的夾持，夾持范圍為φ0.5~4.0mm。在選擇刀具時(shí)，需確保刀具柄徑符合主軸的夾持范圍。

供氣要求：空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時(shí)，需確保氣壓穩(wěn)定且空氣干燥無(wú)雜質(zhì)。

轉(zhuǎn)速與懸伸范圍：在使用時(shí)，需根據(jù)加工需求選擇合適的轉(zhuǎn)速，并確保帶軸的磨石和工具安裝在規(guī)定的懸伸范圍內(nèi)。如果工具的總長(zhǎng)度超過(guò)規(guī)定范圍，需在使用前進(jìn)行切割。

綜上所述，中西Nakanishi氣浮主軸ABT-1600以其高速運(yùn)轉(zhuǎn)、高精度加工和免維護(hù)等特點(diǎn)，在制造業(yè)中發(fā)揮著重要作用。在選擇和使用時(shí)，需充分了解其性能參數(shù)和應(yīng)用領(lǐng)域，并根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行合理的配置和操作。